組 織
研究職員紹介
氏 名 |
田谷 嘉浩(たや よしひろ) |
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所 属 |
研究開発部[応用技術支援グループ] |
専門分野 |
●真空工学 ●粉体工学 ●化学工学一般 |
所属する学会・協会 |
粉体工学会 |
対応可能な技術分野 |
●真空装置:半導体、電子部品製造技術 ●粉体装置:粉体ハンドリング、粉体応用技術 ●空調装置:脱臭、集塵技術 ●反応装置:各種 |
研究テーマ・研究実績等
主な研究テーマ |
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キーワード |
粒度分布、篩い分け、粉じん、環境計測、漏れ計測、質量分析、昇温脱離、ガス分析、バイオ燃料、膜分離、真空プロセス、プラズマ、反応性イオン、エッチング、装置技術 |