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主な機器・設備

電界放射型走査電子顕微鏡

機械金属部品や電気電子部品など、材料を高倍率で観察し元素分析を行います。

電界放射型走査電子顕微鏡

　電界放射型走査電子顕微鏡は、試料に電子線を照射し、試料表面から放出される二次電子や反射電子を画像化する装置です。今回導入した機器は、汎用型の走査電子顕微鏡よりも高倍率で観察できます。試料の観察倍率としては数倍から数十万倍程度まで拡大でき、ナノメートルサイズの小さな材料の観察にも適した装置です。また、電子線照射によって発生する特性X線を測定することで、材料に含まれる元素の種類と組成について分析可能です。機器の操作は難しくなく、どなたでも簡単に使いこなすことができます。

　工業分野を中心に、機械金属、電子材料、プラスチックなど、様々な試料について、高倍率で電子顕微鏡観察や元素分析ができます。本装置は金属・無機材料、電子部品、機械部品に関する研究開発、製品特性の向上のための分析調査に利用可能で、製造技術開発や新製品開発などの課題解決に役立ちます。

本装置は、[JKA(競輪)補助事業]により令和3年度に導入されました。

【JKA補助事業】導入機器一覧

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