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主な機器・設備

走査型電子顕微鏡（電界放射型）

試料表面の形態や微細構造の観察ができます。

走査型電子顕微鏡

走査型電子顕微鏡は、真空中に置いた試料表面に細く絞った一次電子線を照射し、試料から発生する二次電子線や反射電子線などの信号を検出して画面上に拡大表示することによって試料表面の形態や微細構造を観察する装置です。本装置の英語名は Scanning Electron Microscopy で、一般にはそのアルファベットの頭文字をとってSEM(セム)と呼んでいます。

【本装置の特徴】
●光学顕微鏡よりも高倍率で試料を観察できる。

●光学顕微鏡と比較して、焦点深度が深く、試料をより立体的に観察できる。

●試料から発生する特性X線を検出することによって試料に含まれる物質の元素分析ができる。

このような特徴を持つことから、本装置は工業材料に関する研究開発を行う上で必要不可欠な基本装置となっています。また、電子部品の品質保証に関する解析に利用するなど、地域企業の皆さんにも大いにご利用いただける装置です。

ただし、いくつかの弱点もあって、本装置は観察したい試料を真空中に置かなければならないので、水分を含む試料の観察には適しません。また、観察できる試料の大きさには限界があります。

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