電界放射型走査電子顕微鏡（TESCAN社　TESCAN CLARA LMH）

 

機械金属部品や電気電子部品など、材料を高倍率で観察し元素分析を行います。

 

電界放射型走査電子顕微鏡は、試料に電子線を照射し、試料表面から放出される二次電子や反射電子を画像化する装置です。今回導入した機器は、汎用型の走査電子顕微鏡よりも高倍率で観察できます。試料の観察倍率としては数倍から数十万倍程度まで拡大でき、ナノメートルサイズの小さな材料の観察にも適した装置です。また、電子線照射によって発生する特性X線を測定することで、材料に含まれる元素の種類と組成について分析可能です。機器の操作は難しくなく、どなたでも簡単に使いこなすことができます。工業分野を中心に、機械金属、電子材料、プラスチックなど、様々な試料について、高倍率で電子顕微鏡観察や元素分析ができます。本装置は金属・無機材料、電子部品、機械部品に関する研究開発、製品特性の向上のための分析調査に利用可能で、製造技術開発や新製品開発などの課題解決に役立ちます。

 

本装置は、公益財団法人JKA「公設工業試験研究等における機械設備拡充補助事業」の補助を受けて、令和3年度に導入されました。

 

【仕様他】

電子銃　　　　　　　　ショットキー電界放射型

観察倍率　　　　　　　２倍～200万倍

二次電子像分解能　　　0.9nm（15kV）、1.4nm（１kV）

反射電子像分解能　　　2.0nm（30kV）

試料ステージ移動　　　X=80mm、Y=60mm、Z=49mm、T=-80～+80°

試料高さ　　　　　　　最大49ｍｍ

元素分析　　　　　　　エネルギー分散型X線分光分析

検出可能元素　　　　　C～U

 

ご質問やご相談がございましたら、当センターへお気軽にご連絡ください。

【お問い合わせ】研究開発部応用技術支援グループ 菅原（0138）34-2600

（写真）電界放射型走査電子顕微鏡